În manualul de utilizare a instalației sunt descrise:
– principiile de funcționare ale unei descărcări magnetron în curent continuu și în impulsuri de mare putere (HiPIMS), – instalația MS 400 și parametrii tehnici și de funcționare ai fiecărei componente
– modul de operare a instalației MS 400 în regim de descărcare în curent continuu, respectiv în regim de pulsuri de mare putere.
De asemenea, sunt prezentate principalele sisteme și metode de diagnoză a plasmei descărcării magnetron, adaptate pentru instalația MS 400, cum ar fi:
1. Metode electrice de diagnoză a plasmei. Sonde electrice
2. Spectrometria de masă
3. Spectroscopia optică de absorbție și fluorescența indusă laser
4. Spectrometria optică de emisie
5. Fotografierea ultra-rapidă
6. Monitorizarea grosimii filmului depus cu ajutorul balanței cu cuarț.
Acest manual este realizat în scopuri educaționale și de cercetare, fiind destinat utilizatorilor care vor să folosească sisteme și metode de diagnoză a plasmei folosită la procesarea materialelor.
Manualul de utilizare (hard copy) va fi predat beneficiarului instalației odată cu achizitionarea acesteia, iar documentația acestui manual va fi încărcată pe pagina web a proiectului și pe platforma http://uefiscdi-direct.ro/EVoC/
În manual sunt precizate succesiunea operațiunilor ce trebuiesc urmărite în pornirea și oprirea instalației, echipamentele necesre pentru anumite tehnici de diagnoză a plasmei și alte elemente.
Cuprinsul acestui manual este următorul:
Capitolul 1. Introducere ……………………………………………………………………………………………………………….4
Capitolul 2. Descărcarea magnetron ………………………………………………………………………………………………6
2.1. Principiul de funcţionare a unei descărcări magnetron în configuraţia standard ……………………………..6
2.2. Pulverizarea catodică de tip magnetron în impulsuri de mare putere (HiPIMS) ………………………………8
2.3. Instalaţia MS 400…………………………………………………………………………………………………………………….9
2.4. Modul de operare a instalaţiei MS 400 în regim de descărcare în curent continuu, respectiv în
regim de pulsuri de mare putere …………………………………………………………………………………………………….15
Capitolul 3. Sisteme şi metode de diagnoză a plasmei………………………………………………………………………20
3.1. Metode electrice de diagnoză a plasmei. Sonde electrice……………………………………………………………..20
3.2. Spectrometria de masă ……………………………………………………………………………………………………………33
3.3. Diagnoza plasmei prin absorbţie rezonantă laser şi fluorescenţă indusă laser ………………………………..36
3.4. Diagnoza plasmei prin spectroscopie optică de emisie ………………………………………………………………..45
3.5. Diagnoza plasmei prin fotografiere ultra-rapidă (ICCD)………………………………………………………………47
3.6. Monitorizarea grosimii filmului depus cu ajutorul microbalanţei cu cuarţ ……………………………………..48
Copyright
Manual de utilizare a instalaţiei MS 400 este proprietatea intelectuală a Universităţii „Alexandru Ioan Cuza” din Iaşi şi a societăţii S.C. APEL LASER S.R.L., fiind realizat în cadrul proiectului de cercetare ştiinţifică nr. 174/2012.