|
Etapa V. Expolatarea dispozitivului de pulverizare si valorificarea economica – partea II |
|
Activitatea V.1 Diagnoza plasmei și a materialului pulverizat |
|
Activitatea V.2 Depunerea și analiza de filme subțiri (dopate) |
|
Activitatea V.5 Redactarea manualului de utilizare a instalației |
|
Activitatea V.6 Realizarea și actualizarea paginii web a proiectului |
|
Activitatea V.7 Valorificarea economică a dispozitivului de pulverizare |
Activitatea V.1. Diagnoza plasmei și a materialului pulverizat
Unul dintre obiectivele generale ale proiectului este optimizarea parametrilor experimentali ai descărcărilor de tip HiPIMS în vederea creşterii ratei de depunere şi a obţinerii de straturi subţiri cu proprietăţi topologice, structurale, mecanice şi tribologice avansate. În cadrul etapei anterioare s-a arătat că ratele de depunere, precum şi proprietățile straturilor subțiri depuse pot fi controlate nu doar prin intermediul configuraţiei de pulsuri, ci şi prin intermediul configuraţiei câmpului magnetic din faţa catodului.
… Read more
Activitatea V.2 Depunerea și analiza de filme subțiri (dopate)
Caracterizarea oxidului de zinc dopat cu azot ZnOxNy
În cadrul etapei anterioare am arătat că pulverizarea reactivă HiPIMS poate fi implementată cu succes pentru controlul precis al cantității de azot în straturile subțiri de oxid de zinc. Pentru sinteza oxinitrurii de zinc s-a pulverizat o țintă pură de zinc în amestec de Ar/N2/O2, cu debitele masice de 20, 10, 1 sccm, la presiunea totală de 50 mtorr. S-au fost folosite pulsuri de tensiune cu durata de 10 µs și amplitudinea de – 1kV.
Activitatea V.3. Măsurători electrice în plasme reactive.
În această etapă, straturi subțiri de nitrură de wolfram WN, cu conținut de N cuprins între 19.4–50 at.% au fost obținute cu ajutorul pulverizării reactive HiPIMS. Concentrația de N din filme a fost controlată modificând rapoartele debitelor masice ale azotului și argonului. Compoziția chimică, morfologia și structura straturilor subțiri obținute au fost investigate cu ajutorul spectometriei Rutherford Backscattering, microscopiei de forte atomică și difracției de raze X.
Activitatea V.4. Redactarea manualului tehnic al instalației.
Activitatea V.5. Redactarea manualului de utilizare a instalației
În manualul de utilizare a instalației sunt descrise:
– principiile de funcționare ale unei descărcări magnetron în curent continuu și în impulsuri de mare putere (HiPIMS),
– instalația MS 400 și parametrii tehnici și de funcționare ai fiecărei componente
– modul de operare a instalației MS 400 în regim de descărcare în curent continuu, respectiv în regim de pulsuri de mare putere.
Activitatea V.6. Realizarea și actualizarea paginii web a proiectului
Activitatea V.7 Valorificarea economică a dispozitivului de pulverizare.