EtapaI

 

 

Activitate I.1 Investigații preliminare ale sistemului HIPIMS

Investigațiile preliminare referitoare la caracterizarea sistemului HIPIMS au avut în vedere obiectivele principale ale proiectului și anume:

i) rolul câmpului magnetic suplimentar care acționează asupra unui sistem magnetron circular plan. Lucrări de simulare și modelare a descărcării magnetron

ii) proiectarea și realizarea unor configurații preliminare de câmp magnetic exterior pentru optimizarea regimului de pulverizare și depunere de straturi subțiri. Caracterizarea parametrilor plasmei obținute în descărcări magnetron în prezența câmpurilor magnetice adiționale.

iii) depunerea unor straturi subțiri metalice în sistem magnetron și câmp magnetic suplimentar
… Read More

 

Activitate I.2 Constructia sursei pulsate de mare putere

 

A fost proiectat și a fost realizat modelul experimental al unui generator de impulsuri de înaltaă tensiune apt pentru a fi cuplat la o instalație de depunere de straturi  subțiri prin pulverizare catodică magnetron cu magnetron plan circular.
… Read more

 

Activitate I.3 Depunerea si analiza straturilor subțiri

 
În cadrul proiectului au fost prevăzute studii pentru a caracteriza și a recomanda instalația pentru depunerea unor starturi subțiri în principal metalice dar, folosind descărcările în impulsuri de durate relativ scurte, sub circa 50 μs, va fi posibilă folosirea eficientă a instalației și pentru depunerea materialelor semiconductoare. 
… Read more

 

Activitate I.4 Proiectarea diferitelor configurații de câmp magnetic

 
În prima parte a raportului a fost precizat faptul că au fost luate în considerare două sisteme pentru producerea câmpului magnetic suplimentar, amândouă generate de sisteme de bobine. 
… Read more

Bibliografie

1. B.N. Chapman: Glow discharge processes, New York: Wiley (1980);
… Read more